PLU (опытно-промышленная установка загрузки/разгрузки пластин с паллет для реакторов систем плазмохимического (PECVD) находящимися в отдалении друг от друга с одновременной загрузкой/выгрузкой полуфабрикатов в/из реакторов)
- ОКПД2:
- 28.22.18.110
- Реестровый номер:
- 10635070
- Внесена:
- 14.05.2025
- Действует до:
- 13.05.2028